雖然抓鉤調(diào)度與集束型裝備的調(diào)度很相似,相同點是它們都存在加工時間窗約束,一A915AY-6R8M般都加工同一產(chǎn)品,存在多抓鉤或多機械手等相似之處,但集束型裝各存在并行加工和重入加工。事實上,集束型裝各采用并行模塊進行加工在半導體制造工藝中是很常用的,而抓鉤調(diào)度一般不存在并行加工站的問題。所以,對于存在并行模塊的集束型裝各的調(diào)度,也不能利用抓鉤調(diào)度的算法。對于多抓鉤調(diào)度問題,不僅要考慮機械手搬運作業(yè),而且要考慮機械手服務區(qū)域和數(shù)量的優(yōu)化問題,但在多集束型裝備中,機械手服務的區(qū)域是固定的,緩沖模塊數(shù)量是固定的,因此多抓鉤調(diào)度方法并不適合多集束型裝備。

   總之,車間調(diào)度只要考慮調(diào)度設備,不用考慮搬運時間和加工時間約束,也不存在加工零件違反滯留時間約束而出現(xiàn)產(chǎn)品質(zhì)量的問題。相反,集束型裝備可能由于晶圓違反滯留時間約束而導致晶圓質(zhì)量出現(xiàn)問題,甚至報廢。囚此,車間調(diào)度的算法不能用于集束型

裝備的調(diào)度。機器人制造單元一般研究對象是單臂機械手,如2~3個加工站的調(diào)度,而集束型裝各還要滿足晶圓滯留時間約束以雙臂機械手調(diào)度。所以,機器人制造單元的調(diào)度算法也不能直接應用到集束型裝備的調(diào)度。抓鉤調(diào)度與集束型裝備的調(diào)度具有一定的相似′l±,如存在加工時間窗約束,但抓鉤調(diào)度一般不存在并行模塊的問題,且要考慮多抓鉤服務區(qū)域的優(yōu)化問題,所以抓鉤調(diào)度的算法也不適合于具有并行模塊和多機械手的集束型裝備調(diào)度問題。