基本概念
發(fā)布時間:2017/11/26 14:30:30 訪問次數(shù):378
在集束型裝備加工晶圓的過程中,機(jī)械手把晶圓按一定順序運(yùn)輸?shù)揭恍┘庸つK上加工, A915BY-100M機(jī)械手和加工模塊是被晶圓竟?fàn)幨褂玫挠邢拶Y源,在某段給定的時間內(nèi)需決定資源分配給哪個任務(wù),這個決策過程就是調(diào)度。
機(jī)械手搬運(yùn)作業(yè)表示為機(jī)械手活動序列二元組萬表示第個機(jī)械手活動ACη在一個周期中的相對起始時刻,用s=(ACη,乃)表示第乃個周期中活動ACη起始時刻的集合。其中,機(jī)械手活動包括如下。
(I)從加工模塊PM`移動到PM。
(2)從PM卸載晶圓。
在集束型裝備加工晶圓的過程中,機(jī)械手把晶圓按一定順序運(yùn)輸?shù)揭恍┘庸つK上加工, A915BY-100M機(jī)械手和加工模塊是被晶圓竟?fàn)幨褂玫挠邢拶Y源,在某段給定的時間內(nèi)需決定資源分配給哪個任務(wù),這個決策過程就是調(diào)度。
機(jī)械手搬運(yùn)作業(yè)表示為機(jī)械手活動序列二元組萬表示第個機(jī)械手活動ACη在一個周期中的相對起始時刻,用s=(ACη,乃)表示第乃個周期中活動ACη起始時刻的集合。其中,機(jī)械手活動包括如下。
(I)從加工模塊PM`移動到PM。
(2)從PM卸載晶圓。
相關(guān)技術(shù)資料- 11-26基本概念
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- A915BY-100M
- 暫無最新型號
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