調(diào)度必須考慮設(shè)各出現(xiàn)意外的情況,如臨時(shí)晶圓加工、作業(yè)時(shí)間波動(dòng)和加工設(shè)備出現(xiàn)故障等。 LPO2506I-223LC應(yīng)急調(diào)度方法大多是啟發(fā)式算法。

   臨時(shí)晶圓

   半導(dǎo)體生產(chǎn)線為了滿足交貨期要求,必須賦予這類緊急工件最高的優(yōu)先級(jí),并且優(yōu)先加工而無(wú)須等待,這類加△任務(wù)稱為臨時(shí)晶圓。由于臨時(shí)晶圓的加入,等待在集束型裝備前的晶圓存在多種類型,故也將臨時(shí)晶圓加工歸類于動(dòng)態(tài)混合晶圓加工。

   本章參考文獻(xiàn)[78]針對(duì)臨時(shí)晶圓加工路徑不同、并行模塊及晶圓允許跳過(guò)不必要的加工工位等情況,提出基于時(shí)間約束集的在線調(diào)度算法,并且證明算法的可行性和最優(yōu)性。本章參考文獻(xiàn)[79]進(jìn)一步研究了該問(wèn)題,并針對(duì)晶圓的重入加工問(wèn)題,提出一種基于事件驅(qū)動(dòng)的實(shí)時(shí)調(diào)度算法。當(dāng)晶圓到達(dá)后,利用之前記錄的加工模塊和搬運(yùn)模塊的可使用信息,立刻對(duì)當(dāng)前晶圓進(jìn)行調(diào)度。這些信息用時(shí)間約束集表示,且完成調(diào)度之后,晶圓的調(diào)度方案不再做調(diào)整。本章參考文獻(xiàn)[80]針對(duì)單臂多集束型裝備的建模與調(diào)度問(wèn)題,首次將析取圖和滯留約束限制引入多集束裝備調(diào)度的問(wèn)題域中,并建立調(diào)度問(wèn)題的非線性規(guī)劃模型,提出基于時(shí)間約束集的逐級(jí)回溯的啟發(fā)式調(diào)度方法。本章參考文獻(xiàn)[81]在分析單臂和雙臂模型區(qū)別的基礎(chǔ)上,針對(duì)雙臂多集束型裝備調(diào)度的特殊性和復(fù)雜性,建立雙臂多集束型裝各調(diào)度問(wèn)題的數(shù)學(xué)模型,提出以時(shí)間約束集為核心和基于Swap策略的調(diào)度算法。該算法以swap策略為基礎(chǔ),提出用虛擬化的方法解決雙臂多集束型裝備的調(diào)度問(wèn)題。本章參考文獻(xiàn)[82]提出一種以瓶頸工作站為界,通過(guò)逐級(jí)回溯和遞推來(lái)優(yōu)化機(jī)械手搬運(yùn)作業(yè)順序,

同時(shí)降低產(chǎn)品在機(jī)器上的駐留時(shí)間的啟發(fā)式調(diào)度算法。該算法結(jié)合時(shí)間緩沖概念,有效地解決共享工作站的機(jī)械手沖突問(wèn)題,防止死鎖現(xiàn)象的發(fā)生。本章參考文獻(xiàn)[83]以動(dòng)態(tài)到達(dá)晶圓的最短完工時(shí)間為調(diào)度目標(biāo),構(gòu)造基于搜索可行機(jī)械手搬運(yùn)路徑的調(diào)度算法。本章參考文獻(xiàn)[M]提出一種以時(shí)間區(qū)間集為核心、基于虛擬緩沖模塊概念和交換策略的調(diào)度算法,該算法的核心思想是引入虛擬緩沖模塊概念,將雙臂多集束型裝備的調(diào)度問(wèn)題轉(zhuǎn)化為帶有虛擬緩沖模塊的單集束型裝各的調(diào)度問(wèn)題。