在這一節(jié)中,提出了 SN74HC04PWLE一個基于模型的CMID1)FM模衛(wèi)。這個模型用來檢測銅淺池(∞pper pooling)缺陷和離焦缺陷。這種皋于模型的撿查能夠用T篩奮出和周圍環(huán)境高度敏感的版圖,這類版圖容易限制「藝窗凵囚丨nj導(dǎo)致流片失敗.mj日.該CMP建模技術(shù)能夠進行多層模擬,這樣可以捕獲不同層問相Tt作用導(dǎo)致的熱點.這類熱點不容易被皋于規(guī)則的方法所檢測。

   采用這個方法,我們叮以借助丁腐蝕、蝶形凹陷、銅厚度波動來建立的DFM熱點探測的DFM流程。一旦通過改變沒汁修止i'熱點,就可以避免銅的淺池缺陷以及降低離焦波動性。在這一節(jié)中,我們給出熱點探測能夠?qū)е戮_的「藝預(yù)測,同時早在模塊設(shè)汁階段就

可以修正熱點。它也能夠把銅的厚度變化和RC提取以及時序分析流程聯(lián)系起來,這樣就可以評估模塊或者全芯片的性能的良率及時序情況。這個方法也已用于驗證較早介紹的基于模型的冗余金屬填充。