通過(guò)外部電性測(cè)試/表征,來(lái)判斷器件是否失效。 SY88903VKG

   (1)為F證實(shí)器件失效,失效分析T作者在驗(yàn)證時(shí)常需要嘗試不同的測(cè)試條件,盡量模擬可能的失效狀況。對(duì)soft failurc或間歇性失效,常用schm∞圖,即在ATE/測(cè)試機(jī)測(cè)試時(shí)只改變其屮一個(gè)參數(shù),如電壓、溫度、頻率、脈沖寬度等,來(lái)表征器件的好/壞界限和判斷器

件正常T作的區(qū)問(wèn)。要注意的是,上述步驟均是非破壞性分析,在操作時(shí),要避免引入新的失效機(jī)理,或?qū)е缕骷�參�?shù)改變/惡化,發(fā)生二次失效現(xiàn)象。

   (2)在初步驗(yàn)證參數(shù)時(shí),先低電壓、小電流,再適當(dāng)逐步增加。但不可超過(guò)數(shù)據(jù)手冊(cè)(Date Shee0規(guī)定的卜限,以防過(guò)載,或引起閘歇性失效復(fù)原。

   (3)嚴(yán)格遵守相關(guān)器件使用的注意事項(xiàng)。對(duì)高阻抗(impCdancc)器件,如M()S,低功率Schottky TTI'等,要特別注意預(yù)防E()S/E⒏D損傷。

  根據(jù)所確定的失效模式擬定后續(xù)分析/測(cè)試的計(jì)劃