一些系統(tǒng)集成了亮場和暗場觀測，并加工信息使其生成圖像和數(shù)據(jù)庫（見圖14.26】。圖HCPL-0721-000E像處理工藝的發(fā)展允許使用自動缺陷和圖案失真探測儀器，此儀器結合圖片處理和計算機技術，并且有激光或光源掃描儀在晶圓表面上移動。在某一版本中，計算機以設計圖形為電路預排程序。在芯片數(shù)據(jù)庫( die-to-database)系統(tǒng)中，每一個芯片被掃描，并將其結果與已存的特定層的掩模版或放大掩模版的圖形進行比較。掃描儀用來尋找增加或丟失的部分圖案。不同于數(shù)據(jù)庫中芯片的任何錯誤被標記下來以便進一步檢查。假定，如果一個圖形不在數(shù)據(jù)庫里，它可能是某種缺陷。缺陷的位置被記錄下來并能夠打印出表面圖片。這樣，T程師可以追溯晶圓和掩模版，從中找出問題所在。

   被稱為芯片到芯片（die-to-die）檢查的另一個系統(tǒng)將晶圓或掩模版上的鄰近芯片進行比較。先掃描一個芯片并在計算機中記錄下圖形，然后掃第二個芯片，并記錄下兩個芯片的任何差異。，此系統(tǒng)不探測在每個芯片上發(fā)生的任何重復形的缺陷，但是會找出那些小概率出現(xiàn)在兩個鄰近芯片同一位置點的隨機缺陷。在兩種類型的機器中，來自表面的信息將被電荷耦合( CCD)相機或光電倍增管捕獲14。對于在線檢測，最重要的是校準和標準化。

   除了在線校驗電子系統(tǒng)，許多系統(tǒng)會使用標準品圓來校驗機器操作。在這里還用到了一些其他檢測工藝。當一個自動化機器能夠檢測到缺陷時，決定哪些是“致命”缺陷非常重要．，如果計算全部缺陷數(shù)，儀器可能會顯示一個較高的數(shù)值，但是這里增加的缺陷數(shù)可能僅僅是我們不關心的非致命缺陷。無論如何，人們的校驗仍然是缺陷檢測和管理系統(tǒng)中重要的一部分。