對金屬化電遷移/應力遷移、連接孔的電遷移、接觸退化、熱載流子注入效應、DAC08CSZ與時間有關的柵介質擊穿、鍵合退化、濺射損傷、界面效應的失效機理進行評價。

   可靠性模型參數(shù)提取

   在3組以上的應力條件下,提取上述失效機理的模型參數(shù),用于計算加速系數(shù)。加速系數(shù)用于計算使用條件下的壽命值,該壽命值等于加速系數(shù)乘以加速實驗的壽命值。

   工藝可靠性監(jiān)測

   這是通過圓片級可靠性技術來實現(xiàn)的。圓片級可靠性評價技術是一種經(jīng)濟、實用、快速的可靠性評價與監(jiān)測技術,與傳統(tǒng)的封裝級可靠性技術相比有許多優(yōu)點。由于無須封裝,熱阻較低,可以采用較高的溫度和較大的電流密度而不致引入新的失效機理,因此能夠快速地進行工藝線失效機理的可靠性監(jiān)測。圓片級可靠性技術有加速系數(shù)大的特點,不能完全替代封裝級可靠性的作用。