敲擊模式介于接觸模式和非接觸模式之閘,是一個(gè)雜化的概念。懸臂在試樣表面上方以其共振頻率振蕩,針尖僅僅是周期性地短暫地接觸敲擊樣品表面。SA503679-04這就意味著針尖接觸樣品時(shí)所產(chǎn)生的側(cè)向力被明顯地減小了。因此當(dāng)檢測(cè)柔嫩的樣品時(shí),AFM的敲擊模式是最好的選擇之一。一旦AFM開(kāi)始對(duì)樣品進(jìn)行成像掃描,裝置隨即將有關(guān)數(shù)據(jù)輸入系統(tǒng),如表面粗糙度、平均高度、峰谷峰頂之間的最大距離等,用于物體表面分析。同時(shí),AFM還可以完成力的測(cè)量I作,測(cè)量懸臂的彎曲程度來(lái)確定針尖與樣品之間的作用力大小。ΛFM在集成電路生產(chǎn)過(guò)程中主要用于測(cè)量STI的深度、STI Oxidc的step hcight以及其他溝槽的深度和柵極、互連線的剖面輪廓等。