襯底濃度的過分提高會(huì)使載流子的有效遷移率減小,使漏和源PN結(jié)的寄生電容增大, HCNR200-000E還會(huì)帶來體效應(yīng)的增大,這是應(yīng)該避免的。在按比例縮小的理論中,提高襯底濃度的目的,是要使耗盡層寬度按比例縮小。但是只有耗盡層的橫向?qū)挾炔攀?/span>防止穿通的主要參數(shù),而這種耗盡層的橫向擴(kuò)展可以通過溝道離子注入改變溝道表面濃度而得到控制,并無必要改變體襯底濃度。假定注入劑量不變,而注入深度按比例縮小,貝刂表面濃度按比例增大,襯底的摻雜濃度就可以不變。在實(shí)踐中,由于注入以后還有一系列的熱處理過程,要按比例縮小注入的深度是困難的,但顯然襯底濃度并不需要按CE及CV理論要求以很大的比例增大。

   采用計(jì)算機(jī)輔助技術(shù),開發(fā)適當(dāng)?shù)哪M程序,可以在確定的溝道長(zhǎng)度、結(jié)深及電源電壓的條件下,通過選擇柵氧化層厚度、溝道注入濃度及襯底濃度,達(dá)到器件的閾值電壓、驅(qū)動(dòng)電流及速度的設(shè)計(jì)指標(biāo),并把短溝道效應(yīng)(如閾值電壓的下降亞閾電流的升高)限制在可接受的范圍內(nèi)。再由可靠性的要求(如襯底電流的數(shù)值)修正電源電壓,直到高性能及高可靠性的要求均能達(dá)到為止。這個(gè)方法比較準(zhǔn)

確,但也較復(fù)雜。更為簡(jiǎn)便的方法是研究類似CE、CV的簡(jiǎn)單明了的縮小理論,使電源電壓的值滿足閾值電壓可控及高場(chǎng)效應(yīng)足夠小兩方面的要求。這就是按比例縮小的準(zhǔn)恒定電壓(QCV)理論及其他的一些修正理論。

   準(zhǔn)恒定電壓等比例縮小規(guī)則是對(duì)CE規(guī)則和CV規(guī)則的折中,它使工藝尺寸和電壓分別按不同的比例因子進(jìn)行縮小,以獲得一個(gè)比較滿意的結(jié)果。準(zhǔn)恒定電壓等比例縮小規(guī)則為解決各類問題提供了一種可行的方案,因而在實(shí)際中得到了較好的應(yīng)用。