控制圖(con1rol c11art)是對過稆質(zhì)量特忤值進行測定、讠己錄、評估,從而監(jiān)HCF4052M013TR察過程是否處于控制狀態(tài)的一種用統(tǒng)汁方法沒計的圖。圖上有屮心線(Cen1ral I'ine,CI')、控制限(Upper(lontrol l'irni1,U(∶I')和F控制限(l'ower Con1roH'in)it,I'(lI'),并有按時間順序抽取的樣本統(tǒng)汁量數(shù)值的描點序列,參見圖16.10。UCI'與LCl'統(tǒng)稱為控制線(controlhncs)c右控制圖巾的描點落在U(∶I'lj I'(′I'之外或捕點在U(lI'與LtlI'之問的排列不隨機,貝刂表明過程異常c世界L第一張控制圖是美國休哈特(W,Λ。Sl)ewhart)在1924年5月16口提出的不介格品率夕控制圖c控制佟l有一個很大的優(yōu)點.即在圖中將所描繪的點子與控制界限或規(guī)范界限相比較,從而能夠直觀地看到產(chǎn)品或服務(wù)質(zhì)董的變化。

   基于ⅠE態(tài)分布(n()rmal dis1ribu1ion)假設(shè)的控制圖是最常用的控制圖。如果數(shù)據(jù)呈止態(tài)分布,則測量結(jié)果落在△3sign1a內(nèi)的概率為99.73%。如薄膜沉積過程屮只有偶然波動,則膜厚成正態(tài)分布。如果除r偶然波動還有異常波動,則此異常波動將疊加在偶然波動形成的典型分布L,質(zhì)壁特性值的分布必將偏離原來的典型分布。l,Nl此,根據(jù)典型分布是否偏 離就能判斷異常波動是否發(fā)生,是否出現(xiàn)F異常因素・典型分布的偏離可由控制圖檢出。在薄膜沉積的例子巾.如果反應(yīng)室的壓力發(fā)生異常.導(dǎo)致薄膜的厚度分布偏離了原先的正態(tài)分布而向L移動,于是點子超出上控制界的概率大為增加,導(dǎo)致點子頻頻出界,表明過程存在異常波動。控制圖的控制界限就是區(qū)分偶然波動與異常波動的科學(xué)界限。只有偶然因素沒有異常囚素的狀態(tài),稱為統(tǒng)計控制狀態(tài)(statc in statis1ical contr。l),簡稱穩(wěn)態(tài),是控制階段實施過程控制所追求的目標。