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封裝材料α射線引起的軟誤差2016/6/22 21:13:04
2016/6/22 21:13:04
鈾或釷等放射性元素是D1FL/L2集成電路封裝材料中天然存在的雜質(zhì),這些材料發(fā)射的α粒子可使集成電路發(fā)生軟誤差。產(chǎn)生機(jī)理當(dāng)α粒子進(jìn)入硅中時(shí),在粒子經(jīng)過的路徑上產(chǎn)生電子...[全文]
互連和機(jī)械應(yīng)力2016/6/21 23:04:44
2016/6/21 23:04:44
互連和機(jī)械應(yīng)力。在后端BEOL工藝中,金屬化工藝對NBTI效應(yīng)有著明顯的影響。Sony和F喲itsu公司的聯(lián)合OF280SD50D研究結(jié)果表明,Cu互連中采用的大馬士革工藝加劇了NBTI效應(yīng)。C...[全文]
NBTl陷阱產(chǎn)生模型2016/6/21 22:18:39
2016/6/21 22:18:39
>生陷阱;OES4805第2個(gè)模型描述了通過化學(xué)物質(zhì)的相互作用和擴(kuò)散形成更普遍的陷阱。氫模型。氫界面陷阱,可以表示為其中,HO是一個(gè)中性的間隙氫原子。第一性原理計(jì)算表明帶正電荷的氫...[全文]
多層結(jié)構(gòu)2016/6/21 22:09:00
2016/6/21 22:09:00
多層結(jié)構(gòu)。采用以O(shè)MI-SS-112LM金為基材的多層金屬化層,如Pt2S圮-△~PtAu層,其中Pt2s圮與硅能形成良好的歐姆接觸。鈦是黏附層,鉑是過渡層,金做導(dǎo)電層。對于微波...[全文]
兩種模型的對比分析2016/6/20 21:18:46
2016/6/20 21:18:46
兩種模型的對比分析。陽極空HB48-0.5-A穴注入(AHI,AnodeHo⒗習(xí)cction)模型,即1/E模型,該模型認(rèn)為擊穿時(shí)間與氧化層電場的倒數(shù)有關(guān),應(yīng)力條件下,柵電流通常是FN電流,FN...[全文]
熱載流子效應(yīng)的影響因素2016/6/20 21:02:49
2016/6/20 21:02:49
首先考慮溫度因素,大多數(shù)可靠性試驗(yàn)證明,環(huán)境溫度越高,器件退化越嚴(yán)重。HB12-1.7-A而熱載流子注入效應(yīng)的情況則相反,溫度越低,熱載流子注入效應(yīng)越明顯。這是因?yàn)榈蜏叵?si原子的振動變?nèi)?襯...[全文]
漏極電壓 定時(shí)柵壓與襯底電流的關(guān)系2016/6/19 19:13:18
2016/6/19 19:13:18
對于深亞微米CMOs工藝器件,當(dāng)漏極ESD5Z5.0T1G電壓一定時(shí),電壓(/cs)變化的情況如圖5,3所示。由圖可知,當(dāng)吒s為/Ds一半附近,氣b達(dá)最大值。這是因?yàn)榇藭r(shí)漏極附近形...[全文]
通孔腐蝕2016/6/19 18:22:03
2016/6/19 18:22:03
金屬層2沉積siN作為刻蝕阻擋層。涂覆低EP2AGX45DF25C5N佬介質(zhì)。沉積SiO2,作為刻蝕的終點(diǎn)層。二次涂覆低庀介質(zhì),再沉積s⒑2。隨后進(jìn)行通孔1的光刻,接著腐蝕二氧化硅...[全文]
N、P阱的形成2016/6/18 20:46:55
2016/6/18 20:46:55
器件的有源區(qū)形成后,接下來就OP220GS-REEL是N阱和P阱的制作。在圓片表面涂覆光刻膠,采用2#光刻版曝光顯影后,N阱區(qū)域的光刻膠被去掉。接著進(jìn)行離子注入,如圖4.5所示。首先高能大劑量離...[全文]
有機(jī)物沾污主要是指含碳物質(zhì)2016/6/18 20:25:48
2016/6/18 20:25:48
有機(jī)物沾污主要是指含碳物質(zhì)。有機(jī)物沾污的一些來源包括細(xì)菌、蒸氣、清潔劑、溶劑及潮氣等。OP213FSZ-REEL7在特定的工藝條件下,微量有機(jī)物沾污能降低柵氧化層材料的致密性。當(dāng)硅...[全文]
缺陷的徑向分布2016/6/17 21:40:40
2016/6/17 21:40:40
上述所言均假定缺陷密度是不均勻的,是指整片硅片內(nèi)以及與各片硅片之間均有變化。H-183-4-N一些研究者詳盡地研究了缺陷密度因特定工藝而變化的原因,他們發(fā)現(xiàn)某種類型的缺陷顯示出其出現(xiàn)的頻率與徑向...[全文]
氧化工藝的分步驟2016/6/17 21:16:53
2016/6/17 21:16:53
工藝步驟的增加同時(shí)提高了另外4個(gè)成品率制約因素對工藝中晶圓產(chǎn)生影響的可能性。H12WD48125例如,要想在一個(gè)50步的工藝流程上獲得75%的累積成品率,每單步的成品率必須達(dá)到99.4%。如果一...[全文]
累積晶圓生產(chǎn)成晶率 2016/6/17 21:08:14
2016/6/17 21:08:14
在晶圓完成所有的生產(chǎn)工藝后,第一個(gè)主要成品率被計(jì)算出來了。對此成H12D4825品率有多種不同的叫法,如Fab成品率(FabⅥeld)、生產(chǎn)線成品率、累積晶圓廠成品率或累計(jì)成品率。...[全文]
顆粒污染物 2016/6/15 21:01:33
2016/6/15 21:01:33
顆粒污染物包括空氣中所含的顆粒、人員產(chǎn)生的顆粒、設(shè)各和工藝操作過程中使用的化學(xué)品產(chǎn)生的顆粒等。在任何晶圓上,都存在大量的顆粒。CY27H010-45WC有些顆粒位于器件不太敏感的區(qū)域,不會造成器...[全文]
過高的退火溫度會使主要的擴(kuò)散元素si擴(kuò)散加劇而造成漏電甚至短路的問題2016/6/14 21:08:10
2016/6/14 21:08:10
對于鈦硅化物而言,最大的挑戰(zhàn)在于△s砬的線寬效應(yīng),即△s砬電阻會隨著線寬或接觸面積的減小而增加。EL5411IRZ原因是當(dāng)線寬變得過窄時(shí),從C49相到C54相的相變過程會由原先的二維模式轉(zhuǎn)變成一...[全文]
選擇合適的兩次退火的溫度和時(shí)間等2016/6/14 21:03:57
2016/6/14 21:03:57
制造工藝使用LPCVD法或?yàn)R射法來沉積Wsi2。它是覆蓋在Poly的上面,而形成Poly化金屬的結(jié)構(gòu)。EL5378IUZ然后經(jīng)光刻和Poly化金屬的刻蝕后,形成了整個(gè)MOS的結(jié)構(gòu)。LPCVD岡刂...[全文]
Al膜的電遷移2016/6/14 20:57:28
2016/6/14 20:57:28
電遷移現(xiàn)象是一種在大電流密度作用下的質(zhì)量輸運(yùn)現(xiàn)象。質(zhì)量輸運(yùn)是沿電子流方向進(jìn)行的,EL5373IUZ結(jié)果在一個(gè)方向形成空洞,而在另一方向則由于Al原子的堆積而形成小丘,前者會使連線開路,后者會使光...[全文]
阻擋層金屬 2016/6/14 20:48:11
2016/6/14 20:48:11
為了消除諸如淺結(jié)材料擴(kuò)散或結(jié)尖刺問題,常采用阻擋層金屬化方法。阻擋金EL5371IU屬層是沉積金屬或金屬塞,其作用是阻止金屬層上下的材料互相混合。對于0.35um工藝水平的器件,其阻擋層金屬厚度...[全文]
臺階覆蓋2016/6/13 21:56:17
2016/6/13 21:56:17
臺階覆蓋在金屬化工藝中是一個(gè)很重要的參數(shù),進(jìn)入1.0um以下的工藝顯得十分明顯。HCNR201-000E如果臺階覆蓋不好,將直接導(dǎo)致接觸不好而使器件失效。一般來說,孔的形貌是影響臺階覆蓋最主要的...[全文]
金屬化工藝 2016/6/13 21:41:49
2016/6/13 21:41:49
集成電路中的金屬化用于連接電路中的各元器件以形成一個(gè)具有一定功能的電路。HAT3004RJ金屬互連線與元器件的接觸必須滿足電路的要求,或是歐姆接觸(這是大多數(shù)情況),或是整流接觸(如肖特基器件)...[全文]
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